超純氮?dú)搴錃怏w純化器7NG HP/UP系列
超高純氫氣、氮?dú)狻⑾∮袣怏w、氧氣等氣體是LED、大規(guī)模集成電路等半導(dǎo)體行業(yè)的重要原料。這些氣體主要用作半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中的載氣和保護(hù)氣體，其純度對(duì)產(chǎn)品的質(zhì)量和性能至關(guān)重要。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的飛速發(fā)展，對(duì)氣體純度的要求越來(lái)越高。半導(dǎo)體、LED外延等生產(chǎn)線對(duì)部分大宗氣體的純度要求已經(jīng)達(dá)到8N以上，而鋼瓶、儲(chǔ)罐等一次氣源供應(yīng)的氣體為4~6N，達(dá)不到這個(gè)要求。
當(dāng)用戶對(duì)氣體純度的要求為七個(gè)九及以上時(shí)，必須現(xiàn)場(chǎng)使用氣體凈化器。因?yàn)橐话愕臍怏w供應(yīng)商無(wú)法通過(guò)鋼瓶等容器提供如此高純度的氣體。盡管一些氣體供應(yīng)商可以提供大約6種9純度的氣體。但是價(jià)格很貴。如果用戶對(duì)氣體純度的要求在6 9左右，建議一般用氣體凈化器凈化4 ~ 5 9純度的氣體更方便經(jīng)濟(jì)。
超純氮?dú)搴錃怏w純化器產(chǎn)品簡(jiǎn)介
7NG HP/UP系列氣體純化器由氣路和電控兩部分所組成。氣路部分主要由吸氣劑(Getter)純化單元和一系列閥門、氣體管路和散熱器所組成。純化器采用化學(xué)反應(yīng)的方法在高溫下將工藝氣體中的H2O, O2, CO, CO2, CH4, NMHC等雜質(zhì)去除到5ppb以下。電控部分負(fù)責(zé)控制系統(tǒng)的溫度控制和**報(bào)警等過(guò)程，確保純化器能夠持續(xù)**穩(wěn)定地運(yùn)行。
超純氮?dú)搴錃怏w純化器超純氮?dú)搴錃怏w純化器產(chǎn)品特點(diǎn)
出口氣體中各雜質(zhì)含量小于5ppb 可以從稀有氣體和氮?dú)庵腥コ淄?可以從稀有氣體中去除氮?dú)?316L SS 純化罐 配置旁通隔膜閥
超純氮?dú)搴錃怏w純化器純化指標(biāo)
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氣體類型*
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可純化氣體*
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去除雜質(zhì)
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純化指標(biāo)
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稀有氣體-R
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Ar, He, Xe, Ne, Kr
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H2O, O2, CO, CO2, H2, CH4, NMHC, N2
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<5ppb
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氮?dú)?N
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N2
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H2O, O2, CO, CO2, H2, CH4, NMHC
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超純氮?dú)搴錃怏w純化器型號(hào)說(shuō)明
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產(chǎn)品型號(hào)
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常規(guī)流量
(Nm3/h)
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*大壓力
(MPa)
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顆粒過(guò)濾器
(μm)
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進(jìn)/出氣口接頭
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機(jī)柜尺寸
WxDxH(mm)
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7NG150-300 HP
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10, 20
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16
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1
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1/4” VCR
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650x685x1840
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7NG500-700 HP
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30, 40
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16
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1
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1/4” VCR
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1000x685x1840
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7NG200-400 UP
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15, 25
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22
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1
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1/4” VCR
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650x685x1840
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7NG600-800 UP
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35, 50
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22
|
1
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1/4” VCR
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1000x685x1840
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7NG HP/UP氣體純化器產(chǎn)品應(yīng)用
標(biāo)準(zhǔn)氣體平衡氣純化 混合氣體生產(chǎn) 電子氣體生產(chǎn) 超純氮、氬、氦、氫等氣體生產(chǎn)
