Teledyne API臭氧發(fā)生器
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產(chǎn)品名稱(chēng):
Teledyne API臭氧發(fā)生器
產(chǎn)品型號(hào):
SCI-552
產(chǎn)品展商:
其它品牌
產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹
Teledyne API臭氧發(fā)生器SCI-552
SCI-552是臭氧輸送系統(tǒng)的控制器，能夠?yàn)楹芏嘞到y(tǒng)部件提供電氣控制界面，包括：臭氧發(fā)生器、EV閥、質(zhì)量流量計(jì)、背壓控制器、TAPI452臭氧傳感器、 TAPI 470 溶解臭氧傳感器和水冷卻器。
Teledyne API臭氧發(fā)生器 的詳細(xì)介紹
Teledyne API臭氧發(fā)生器SCI-552
SCI-552是臭氧輸送系統(tǒng)的控制器，能夠?yàn)楹芏嘞到y(tǒng)部件提供電氣控制界面，包括：臭氧發(fā)生器、EV閥、質(zhì)量流量計(jì)、背壓控制器、TAPI452臭氧傳感器、 TAPI 470 溶解臭氧傳感器和水冷卻器。
Teledyne API臭氧發(fā)生器SCI-552基于軟硬件特點(diǎn)，提供了很多系統(tǒng)聯(lián)鎖功能，它靈活性高，允許用戶(hù)通過(guò)前面板用戶(hù)界面、MODBUS串行接口或各種離散型數(shù)字和模擬輸入來(lái)控制整個(gè)系統(tǒng)。SCI-552能夠支持兩臺(tái)臭氧發(fā)生器并提供兩條獨(dú)立的臭氧輸出渠道。
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RS-232 MODBUS遠(yuǎn)程支持
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*多控制2臺(tái)臭氧發(fā)生器Teledyne API臭氧發(fā)生器SCI-552
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*多與2臺(tái)452和470臭氧測(cè)量?jī)x器交互
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*多控制4臺(tái)質(zhì)量流量控制器
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*多控制2臺(tái)背壓控制器
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*多控制2個(gè)EV閥
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*多控制1臺(tái)水冷卻器
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系統(tǒng)聯(lián)鎖輸入
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遠(yuǎn)程系統(tǒng)級(jí)別控制和狀態(tài)輸入/輸出
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化學(xué)氣相沉積(CVD)Teledyne API臭氧發(fā)生器SCI-552
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原子層沉積(ALD)
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氧化物生長(zhǎng)
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表面處理
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灰化
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粒子清潔
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光刻膠去除
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其他
更多Teledyne API臭氧發(fā)生器SCI-552信息請(qǐng)直接致電埃登威上海021-55581219
