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產(chǎn)品資料

日本AMAYA株式會社天谷制作所太陽能電池AMAX1000S

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產(chǎn)品名稱: 日本AMAYA株式會社天谷制作所太陽能電池AMAX1000S
產(chǎn)品型號:
產(chǎn)品展商: 其它品牌
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簡單介紹

日本AMAYA株式會社天谷制作所連續(xù)常壓CVD設(shè)備，用于批量生產(chǎn)兼容125mm方形和156mm方形的太陽能電池AMAX1000S連續(xù)常壓CVD設(shè)備，用于批量生產(chǎn)兼容125mm方形和156mm方形的太陽能電池AMAX1000S156 毫米方形 1500 張/小時(shí)吞吐量采用SiC托盤防止重金屬污染的對策，以及通過改善托盤支架防止背面環(huán)繞的措施特征可以使用滿足太陽能電池生產(chǎn)需求的超批量生產(chǎn)設(shè)備運(yùn)輸156


日本AMAYA株式會社天谷制作所太陽能電池AMAX1000S  的詳細(xì)介紹

日本AMAYA株式會社天谷制作所

連續(xù)常壓CVD設(shè)備，用于批量生產(chǎn)兼容125mm方形和156mm方形的太陽能電池AMAX1000S


產(chǎn)品信息

連續(xù)常壓CVD設(shè)備，用于批量生產(chǎn)兼容125mm方形和156mm方形的太陽能電池

AMAX1000S

  • 156 毫米方形 1500 張/小時(shí)吞吐量

  • 采用SiC托盤防止重金屬污染的對策，以及通過改善托盤支架防止背面環(huán)繞的措施

圖片關(guān)鍵詞

特征

  • 可以使用滿足太陽能電池生產(chǎn)需求的超批量生產(chǎn)設(shè)備運(yùn)輸156mm x 156mm方形基板和125mm x 125mm方形基板。

  • 我們開發(fā)了可實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)的專用分散頭，以及實(shí)現(xiàn)超高速輸送的雙臂輸送機(jī)構(gòu)。 此外，還增加了燈管加熱機(jī)構(gòu)，以實(shí)現(xiàn)超高速和晶圓溫度均勻性。

  • 我們開發(fā)了一種特殊的晶圓支架，用于高效加熱太陽能電池的薄晶圓。

  • 卸料器部分使用多級Bernui卡盤來分離晶圓和托盤，并且還具有冷卻功能。

性能

均勻的薄膜厚度≦±10.0%
支持的晶圓尺寸156毫米方形，125毫米方形
氣體種類SiH4，O 2， PH3， B 2 H6， N 2
薄膜沉積溫度~430°C
生產(chǎn)力1500張/小時(shí)

主要規(guī)格

設(shè)備尺寸1860毫米（寬） x 5900毫米（深） x 2100毫米（高）
加熱機(jī)構(gòu)電阻加熱和燈加熱
裝載卸載裝載：卡盤，卸載：伯努利卡盤
分散頭（氣體噴嘴）A63 長頭（標(biāo)準(zhǔn) 3 頭）


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