Puren-T H2O 微量水分析儀
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產(chǎn)品名稱:
Puren-T H2O 微量水分析儀
產(chǎn)品型號(hào):
光能科技ppb半導(dǎo)體用微量水分析儀
產(chǎn)品展商:
其它品牌
產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹
Puren-T H2O 微量水分析儀
在集成電路生產(chǎn)過程中，氣體中的雜質(zhì)將會(huì)直接影響芯片的壽命和性能。目前，光腔衰蕩水分析儀在半導(dǎo)體領(lǐng)域中是測痕量水分的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。因?yàn)樗軌蚣皶r(shí)檢測出氣體中的雜質(zhì)含量是否超標(biāo)，所以對半導(dǎo)體制程后端的產(chǎn)品質(zhì)量提升有非常大的幫助。
Puren-T H2O 微量水分析儀 的詳細(xì)介紹
Puren-T H2O 微量水分析儀
高純氣體是集成電路、光伏、光纖等產(chǎn)業(yè)的重要基礎(chǔ)材料，在大規(guī)模集成電路芯片生產(chǎn)過程中，氣體中的氣態(tài)、液態(tài)和固態(tài)雜質(zhì)均會(huì)對芯片質(zhì)量構(gòu)成重要影響。由于氣體中的微量氧和水的存在，在高溫下合成的半導(dǎo)體器件表面容易生成氧化膜，這是影響器件壽命和性能的重要因素。
在集成電路生產(chǎn)過程中，氣體中的雜質(zhì)將會(huì)直接影響芯片的壽命和性能。目前，光腔衰蕩水分析儀在半導(dǎo)體領(lǐng)域中是測痕量水分的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。因?yàn)樗軌蚣皶r(shí)檢測出氣體中的雜質(zhì)含量是否超標(biāo)，所以對半導(dǎo)體制程后端的產(chǎn)品質(zhì)量提升有非常大的幫助。
一、Puren-T H2O 微量水分析儀性能規(guī)格表 微量水分析儀性能規(guī)格表
Puren-T H2O 微量水分析儀性 能電 子 參 數(shù)
適用氣體 多數(shù)有毒的、不活躍性氣體 檢測范圍 詳見技術(shù)參數(shù)表 測量下限 詳見技術(shù)參數(shù)表
靈敏度 ±0.75%或 1/3LDL 氣路 準(zhǔn)確度 ±3% 系
統(tǒng) 響應(yīng)速度 <1minute to 90% 和
報(bào)警指示 系統(tǒng)報(bào)警 條件 用戶可編程報(bào)警
供電要求 100-240VAC，50/60Hz 功率 20W(MAX)
用戶界面 7 寸液晶顯示屏
4-20mA輸出
工作環(huán)境溫度
存放溫度
管路材料氣體連接
檢漏測試
入口壓力
*大流量通入氣體溫度
保護(hù)氣接口
尺寸
重量
Puren-T H2O 微量水分析儀測量下限
200ppt 200ppt 130ppt 150ppt 100ppt
10°C~40°C -10°C-40°C
316L 不銹鋼
Ra0.25 表面光潔 1/4 VCR 外螺紋接口 <1×10-9mbar l/sec 0.2-0.8MPa
1.5slm
*高 60°C
N2 or He,1/8 外螺紋卡套接頭
600mm×200mm×200mm 10Kg
靈敏度
100ppt 70ppt 45ppt 50ppt 20ppt
信號(hào)輸出 自適應(yīng)網(wǎng)絡(luò) RS-232 串行通信
二、Puren-T H2O 微量水分析儀技術(shù)參數(shù)表 被檢氣和背景氣 測量范圍
H2O in N2 0-20ppm H2O in H2 0-16ppm H2O in Ar 0-9ppm H2O in O2 0-10ppm H2O in He 0.4ppm
Puren-T H2O 微量水分析儀應(yīng)用非常廣泛，不僅有來自半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、液晶平板顯示器(LCD)、光電子器件(LED)制造業(yè)、太陽能光伏產(chǎn)業(yè)等領(lǐng)域的終端客戶，也有一些上游的氣體制造商，比如華特氣體、金宏氣體等。
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