日本shibaura芝浦機(jī)電皮拉尼真空計(jì)儀表
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產(chǎn)品名稱:
日本shibaura芝浦機(jī)電皮拉尼真空計(jì)儀表
產(chǎn)品型號(hào):
shibaura GPW
產(chǎn)品展商:
其它品牌
產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹
日本shibaura芝浦機(jī)電皮拉尼真空計(jì)儀表該產(chǎn)品是一種皮拉尼真空計(jì)，可以測(cè)量從大氣壓到5 x 10 -2 Pa的很大范圍。此外，該真空計(jì)消除了傳統(tǒng)控制器的操作和顯示，并縮小到小的必要功能，從而實(shí)現(xiàn)了“成本降低"和“節(jié)省空間"。
日本shibaura芝浦機(jī)電皮拉尼真空計(jì)儀表 的詳細(xì)介紹
日本shibaura芝浦機(jī)電皮拉尼真空計(jì)儀表
GPW系列的特點(diǎn)
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廣域測(cè)量：可以從大氣壓到5×10 -2 Pa進(jìn)行廣域測(cè)量
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節(jié)省布線：通過集成傳感器和控制器實(shí)現(xiàn)節(jié)省布線，節(jié)省空間和節(jié)電。
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視野更佳：配備了可以檢查異常的LED
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一鍵式調(diào)節(jié)：一鍵式大氣壓調(diào)節(jié)和零點(diǎn)調(diào)節(jié)
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可維護(hù)性：易于更換測(cè)針
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燈絲材料-鉑（Pt）：燈絲材料使用具有優(yōu)異耐腐蝕性的鉑。
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測(cè)量值輸出信號(hào)：壓力為0至10V的對(duì)數(shù)輸出是標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備
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日本shibaura芝浦機(jī)電皮拉尼真空計(jì)儀表改善的抗沖擊性：具有出色抗沖擊性的設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)
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控制輸出信號(hào)：可以輸出2個(gè)設(shè)定點(diǎn)（GPW-1）
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串行通訊規(guī)格：可以進(jìn)行RS-232C / RS-485通訊（僅GPW-2）
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符合標(biāo)準(zhǔn)：符合CE標(biāo)準(zhǔn)
用
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用于各種制造設(shè)備（例如太陽能電池，F(xiàn)PD，半導(dǎo)體和電子零件）的低真空區(qū)域中的過程控制
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用于各種工業(yè)設(shè)備（例如熔爐）的低真空區(qū)域中的過程控制
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用于在具有許多處理腔室的各種制造設(shè)備的低真空區(qū)域中進(jìn)行過程控制，例如在線型和單晶片型
日本shibaura芝浦機(jī)電皮拉尼真空計(jì)儀表規(guī)范
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模型
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GPW-1
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GPW-2
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可連接的手寫筆
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一
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自適應(yīng)手寫筆
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SWP-16（NW-16）
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測(cè)量壓力范圍
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5.0 x 10 -2至1.0 x 10 5 Pa
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測(cè)量精度*
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1×10 -1?1 ××10 4 Pa：±10％
5.0×10 -2?1.0 ×10 -1 Pa，1×10 4 Pa?1×10 5 Pa：±20％
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重復(fù)性
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1×10 -1 Pa?1×10 4 Pa：±2％
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采樣時(shí)間
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50毫秒5次移動(dòng)平均處理
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測(cè)量值輸出
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輸出電壓DC 0-10 V
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壓力指示（對(duì)數(shù)輸出）1.7 V至8.0 V，1 V /位
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更新時(shí)間
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50毫秒
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控制輸入信號(hào)
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集電極開路輸入，負(fù)邏輯
ADJ調(diào)整（零點(diǎn)調(diào)整，大氣壓調(diào)整）
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控制輸出信號(hào)
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集電極開路輸出
日本shibaura芝浦機(jī)電皮拉尼真空計(jì)儀表負(fù)邏輯[額定值：30 VMAX，50 mAMAX，70 mW]
錯(cuò)誤信號(hào)
設(shè)定點(diǎn)1、2
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監(jiān)控設(shè)定值
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設(shè)定點(diǎn)1，2：0至10 V日志輸出
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串行通訊規(guī)格
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RS232C / RS485
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LED顯示屏
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電源/錯(cuò)誤：電源，錯(cuò)誤指示燈
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SET-1：設(shè)定點(diǎn)1 LED
SET-2：設(shè)定點(diǎn)2 LED
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燈絲材料
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鉑
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工作溫度極限
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10-40℃
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工作濕度范圍
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15-80％（但是，不結(jié)露）
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IP防護(hù)等級(jí)
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IP30（傳感器單元）
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安裝姿勢(shì)
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沒有限制
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電源電壓
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DC 18 V至30 V，2 W（電源打開時(shí)為4.8 W）
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輸入/輸出連接器
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D-sub15針（M2.6螺釘）
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大眾
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150克（含SWP-16）
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外形尺寸（電源）W xD x H（mm）
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70 x 46 x 28
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符合標(biāo)準(zhǔn)
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CE認(rèn)證
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*大氣壓調(diào)整和零點(diǎn)調(diào)整后的精度。
外形尺寸
單位：mm
*規(guī)格或建議零售價(jià)如有變更，恕不另行通知。
日本shibaura芝浦機(jī)電皮拉尼真空計(jì)儀表
