日本shibaura芝浦機(jī)電皮拉尼真空計(jì)多離子規(guī)
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產(chǎn)品名稱:
日本shibaura芝浦機(jī)電皮拉尼真空計(jì)多離子規(guī)
產(chǎn)品型號(hào):
shibaura GMi
產(chǎn)品展商:
其它品牌
產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹
日本shibaura芝浦機(jī)電皮拉尼真空計(jì)多離子規(guī)該產(chǎn)品是一種換能器型多離子量規(guī)，可以將測(cè)針連接到不同的測(cè)量范圍。
日本shibaura芝浦機(jī)電皮拉尼真空計(jì)多離子規(guī) 的詳細(xì)介紹
日本shibaura芝浦機(jī)電皮拉尼真空計(jì)多離子規(guī)
在將常規(guī)方法的多種原理組合到一個(gè)外殼中的復(fù)雜真空計(jì)中，“單個(gè)手寫筆需要*更換手寫筆”，“手寫筆很復(fù)雜且容易出現(xiàn)故障”和“手寫筆”我經(jīng)常聽到客戶的反饋，例如“昂貴”。
這種方法可以進(jìn)行寬帶測(cè)量，顯著降低運(yùn)行成本，并支持低環(huán)境負(fù)荷。
日本shibaura芝浦機(jī)電皮拉尼真空計(jì)多離子規(guī)GMi系列的特點(diǎn)
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廣域測(cè)量可以測(cè)量
從大氣壓到高真空區(qū)域（10 5至5 x 10 -8 Pa）（當(dāng)同時(shí)使用GPM和GAM時(shí)）
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可以連接不同測(cè)量范圍的放大鏡
通過(guò)采用多離子規(guī)，可以根據(jù)應(yīng)用選擇測(cè)針
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準(zhǔn)確的大氣壓測(cè)量可以
輕松，準(zhǔn)確地確認(rèn)大氣壓（使用GAM時(shí)）
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支持低環(huán)境負(fù)荷由于
只能根據(jù)需要更換觸控筆，因此可以降低運(yùn)行成本。
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配備可檢查異常情況的LED，以提高可見度
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日本shibaura芝浦機(jī)電皮拉尼真空計(jì)多離子規(guī)易于更換可維護(hù)的手寫筆
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每種模式規(guī)格（組合模式）
GMi + GPM（離子計(jì)+吡喃計(jì)）
GMi + GPM + GAM（離子計(jì)+吡拉尼計(jì)+大氣壓傳感器）
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測(cè)量值輸出信號(hào)
壓力為0至10V輸出（對(duì)數(shù)輸出）
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控制輸出信號(hào)可以進(jìn)行
3點(diǎn)設(shè)定值輸出（GMi-1）
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可以進(jìn)行串行通訊規(guī)格
RS232C / RS485通訊（GMi-2）
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符合標(biāo)準(zhǔn)
CE標(biāo)準(zhǔn)對(duì)應(yīng)
日本shibaura芝浦機(jī)電皮拉尼真空計(jì)多離子規(guī)用
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用于各種制造設(shè)備（例如太陽(yáng)能電池，F(xiàn)PD，半導(dǎo)體和電子零件）的高真空區(qū)域中的過(guò)程控制
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通過(guò)串聯(lián)型和單晶圓型等多個(gè)處理室，確認(rèn)各種制造設(shè)備的高真空區(qū)域的極限壓力
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日本shibaura芝浦機(jī)電皮拉尼真空計(jì)多離子規(guī)高真空/超高真空設(shè)備的壓力測(cè)量
規(guī)范
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模型
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GMi-1
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GMi-2
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規(guī)范
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標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格
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串行通訊規(guī)格
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自適應(yīng)多離子量規(guī)傳感器
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M34（NW16），M35（NW25）
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可連接的
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傳感器多離子壓力表傳感器：1
皮拉尼壓力表GPM：1（可選）
大氣壓傳感器GAM：1（可選）
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采樣時(shí)間
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70毫秒4倍移動(dòng)平均處理
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測(cè)量值輸出
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輸出電壓DC 0至10 V，對(duì)數(shù)輸出0.75 V / 1位
壓力轉(zhuǎn)換公式V = 7.25 + 0.75×（Log P -2）P = 10 ^ {（V --7.25）/ 0.75 + 2}
*用于設(shè)定點(diǎn)調(diào)整還用作（**GMi-1）的輸出電源
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更新時(shí)間
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50毫秒
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控制輸入信號(hào)
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FIL ON / OFF，F(xiàn)IL 1/2，DEGAS ON / OFF以
集電極開路輸入，負(fù)邏輯運(yùn)行
*根據(jù)模式的不同，F(xiàn)IL ON / OFF信號(hào)的用法也不同。
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控制輸出信號(hào)
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傳感器錯(cuò)誤，設(shè)定點(diǎn)1/2/3
發(fā)射有效
燈絲功率監(jiān)控
額定值：24 VMAX，50 mAMAX，
飽和電壓1 V
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串行通訊規(guī)格
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RS232C / RS485
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LED顯示屏
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電源/錯(cuò)誤：電源，錯(cuò)誤指示燈（閃爍狀態(tài)根據(jù)每種模式而變化）
FIL：發(fā)射有效的指示燈
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SET1：設(shè)定點(diǎn)1 LED
SET2：
設(shè)定點(diǎn)2 LED SET3：設(shè)定點(diǎn)3 LED
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發(fā)射電流
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1 mA（1 x 10 -3 Pa或更?。?，10 μA
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德加斯
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電子減震方法（電子轟擊）1 mA，330 V
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傳感器耐壓
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2 x 10 5 Pa（壓力）*法蘭和夾具的承受壓力需要單獨(dú)考慮。
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傳感器內(nèi)部容積
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34厘米3（M34）
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工作溫度極限
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10-50℃
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工作濕度范圍
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15-80％（但是，不結(jié)露）
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儲(chǔ)存溫度
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-20至65°C（不通電時(shí)不結(jié)露）
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IP防護(hù)等級(jí)
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IP30
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電源電壓
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DC 20-28 V（紋波，噪聲1％或更低）19 W或更低（電源打開時(shí)為156 W）
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輸入/輸出連接器
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D-sub 15針（M2.6螺絲）
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大眾
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控制器：約530 g，BA手寫筆（M34）：63 g
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外形尺寸W xD x H（mm）
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144 x 75 x 62以下（控制器部分）
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符合標(biāo)準(zhǔn)
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CE認(rèn)證
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選項(xiàng)
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電源/錯(cuò)誤：多離子計(jì)傳感器
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M34（NW16），M35（NW25）
材質(zhì)：長(zhǎng)絲1 lr / Y 2 O 3涂層，長(zhǎng)絲2 W（鎢）
其他Pt C Mo，SUS，W
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皮拉尼規(guī)
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SPU
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皮拉尼儀表傳感器
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WP-16（NW16）
材質(zhì)：細(xì)絲鉑，其他BS / Ni，電鍍，鎳，焊料
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大氣壓傳感器
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GAM（NW16）材質(zhì)：SUS316L
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單元電纜
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GPM為0.5毫米
GAM為0.5毫米
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顯示單位
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1 CH：ISG1型（使用DC 24 V電源）
4 CH：IM1R1型（使用DC 24 V電源）
IM2R1型（使用AC 100 V電源）
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顯示電纜
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GMi和顯示單元之間的電纜
2 m，5 m，10 m，15 m
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日本shibaura芝浦機(jī)電皮拉尼真空計(jì)多離子規(guī)每種模式規(guī)格
GMi-1 / GMi-2可以從三種使用類型中選擇：多離子表單模，帶吡拉尼表的組合模式以及帶吡拉尼表和大氣壓傳感器的三重組合模式。
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模式
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GMi-1 / GMi-2
獨(dú)立模式
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GMi-1 / GMi-2 + GPM
組合模式
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GMi-1 / GMi-2 + GPM + GAM
組合模式
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測(cè)量壓力范圍
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5×10 -8?1 ×10 1帕
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5×10 -8?1 ×10 4帕
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5×10 -8?1 ×10 5帕
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測(cè)量精度
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5×10 -8至1×10 1 Pa±15％
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5×10 -8?1×10 3帕：±15％
1×10 3?3.0×10 3帕：±30％
3.0×10 3?1.0×10 4帕：沒(méi)有精度保證
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5×10 -8?1×10 3帕：±15％
1×10 3?3.0×10 3帕：±30％
3.0×10 3 ?1.0×10 4帕：沒(méi)有精度保證
1.0×10 4?1.0× 10 5 Pa：±3％FS
（3 x 10 3 Pa，參考溫度25°C）
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重復(fù)精度
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1 x 10 -6至1 x 10 -1 Pa：Pa±2％
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接線圖（示例）
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日本shibaura芝浦機(jī)電皮拉尼真空計(jì)多離子規(guī)外形尺寸
單位：mm
*規(guī)格或建議零售價(jià)如有變更，恕不另行通知。
日本shibaura芝浦機(jī)電皮拉尼真空計(jì)多離子規(guī)
