日本Horiba STEC SEC-E50氣體質(zhì)量流量控制器
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產(chǎn)品名稱:
日本Horiba STEC SEC-E50氣體質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品型號:
日本Horiba氣體質(zhì)量流量控制器庫存
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簡單介紹
日本Horiba STEC SEC-E50氣體質(zhì)量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置，質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用，例如半導(dǎo)體工業(yè)、太陽能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等日本Horiba氣體質(zhì)量流量控制器庫存。
日本Horiba STEC SEC-E50氣體質(zhì)量流量控制器 的詳細介紹
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日本Horiba STEC
SEC-E50氣體質(zhì)量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置，質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用，例如半導(dǎo)體工業(yè)、太陽能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。
日本Horiba STEC SEC-E50氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品簡介日本Horiba氣體質(zhì)量流量控制器庫存：
所謂質(zhì)量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置。流體的流量計測通?？煞譃轶w積流量和質(zhì)量流量。體積流量由于受到計測時環(huán)境溫度和壓力的影響，如需要準確測定時，須對溫度和壓力進行調(diào)整。而質(zhì)量流量計在測定流體質(zhì)量的時候，不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準確地進行流體測量。在須對流量進行準確計測和控制的領(lǐng)域，質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用，例如半導(dǎo)體工業(yè)、太陽能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。
我們會努力按照原廠技術(shù)參數(shù)翻譯編輯，如技術(shù)參數(shù)中英文有差異，以英文參數(shù)為準。 日本Horiba氣體質(zhì)量流量控制器庫存
日本Horiba STEC SEC-E50氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)：
型號SEC-(質(zhì)量流量控制器)E40/E40MK3E50/E50MK3SEF-(質(zhì)量流量計)E40E50
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適用氣體種類*1
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非腐蝕性氣體(MK3型號適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)
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氣體接觸部材質(zhì)
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SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼日本Horiba氣體質(zhì)量流量控制器庫存
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閥門型號
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非通電時 關(guān)閉
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標準流量量程 (N2相應(yīng)F.S.)
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10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM
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20/30 SLM
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流量控制范圍
(適于SEC系列)
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2?100% F.S.
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流量測量范圍
(適于SEF系列)
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0?100% F.S.
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響應(yīng)速度
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1秒以內(nèi)(T98)
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流量精度
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±1% F.S.
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直線性
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±0.5% F.S.日本Horiba氣體質(zhì)量流量控制器庫存
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反復(fù)性
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±0.2% F.S.
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工作差壓值值
(適于SEC系列)
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10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d) 10?30 SLM:100?300kPa(d)
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使用壓力
(適于SEF系列)
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300kPa(G)以下
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耐 壓
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1MPa(G)以下
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外部泄漏率
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1×10-8Pa?m3/s(He)以下
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使用環(huán)境溫度
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5?50℃(精度的確保：15?35℃)
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流量設(shè)定信號
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0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S.
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流量輸出信號
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0?5VDC(很小負荷電阻2kΩ)
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驅(qū)動電源
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+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA
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＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA
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標準接頭*2
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1/4SWL 類型
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