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CQC氣體分析系統(tǒng)與Tigeroptics Halo 3 H2O 水分儀深度解析|埃登威自動化系統(tǒng)設備（上海）有限公司

CQC氣體分析系統(tǒng)與Tigeroptics Halo 3 H2O 水分儀深度解析

一、Tigeroptics Halo 3 H2O 水分儀概覽

Tigeroptics Halo 3 H2O 水分儀，作為一款專為高純氣體設計的超高精度微量水分分析儀，憑借其**的性能和便捷的操作性，在全球范圍內(nèi)贏得了廣泛的認可。該儀器采用先進的CRDS（光腔振蕩衰減光譜）技術，實現(xiàn)了對氣體中微量水分的精準測量，無需傳統(tǒng)校驗氣體，大大降低了運營成本，同時確保了測量的準確性和可靠性。CQC氣體分析系統(tǒng)與Tigeroptics Halo 3 H2O 水分儀深度解析


  • 型號亮點：Halo 3 不僅以其1.2ppb（在氮氣中）的超高分辨率脫穎而出，還具備±4%或1/2 LDL的**測量精度，滿足了各類高精度分析需求。
  • 靈活應用：支持ppm、ppb、ppt等多種測量范圍，廣泛適用于半導體、光纖、微電子、氣體、科研、教育及化工等多個領域。
  • 便捷設計：緊湊的結構（8.75mm8.5mm23.6mm）與12.7kg的輕量化設計，使得Halo 3 H2O易于安裝與維護。同時，90-240VAC的寬電源電壓輸入，進一步增強了其使用的靈活性。

二、技術優(yōu)勢與應用特性CQC氣體分析系統(tǒng)與Tigeroptics Halo 3 H2O 水分儀深度解析

  • 超寬動態(tài)范圍：Halo 3 H2O 水分儀能夠覆蓋超過4個數(shù)量級的測量范圍，從極低的微量水分到較高的濃度均能準確捕捉，滿足多樣化的分析需求。
  • 低運營成本與維護：得益于其免校驗氣體的設計，減少了標定成本和時間。同時，無消耗性部件的設計確保了長期運行的穩(wěn)定性和低維護成本。
  • 高靈敏度與精度：CRDS技術的應用，使得Halo 3 H2O 能夠在不受激光強度、噪聲或外部環(huán)境影響的情況下，實現(xiàn)超高靈敏度和精度的測量。
  • 快速響應與實時分析：在線實時分析功能，確保了對氣體中水分變化的即時捕捉，為生產(chǎn)過程提供了有力的數(shù)據(jù)支持。

三、CQC氣體分析系統(tǒng)的核心作用與精密構成

核心作用：CQC氣體分析系統(tǒng)在半導體制造領域發(fā)揮著至關重要的作用。通過集成Halo 3 H2O 水分儀等高精度分析儀器，CQC系統(tǒng)實現(xiàn)了對高純氣體中各類雜質的**監(jiān)控，確保了半導體生產(chǎn)過程中的氣體質量，進而保障了產(chǎn)品的**品質和生產(chǎn)效率。

精密構成：CQC氣體分析系統(tǒng)與Tigeroptics Halo 3 H2O 水分儀深度解析

  • 高精度分析儀器：除了Halo 3 H2O 水分儀外，CQC系統(tǒng)還配備了高性能的氧分析儀、氣相色譜儀等，以實現(xiàn)對氣體中不同雜質的精準檢測。
  • 完善硬件設施：儀器機柜、精密管件、閥件、氫氣泄漏偵測器、零點純化器及高效過濾器等硬件設施的配備，確保了系統(tǒng)的順暢運行和整體性能的穩(wěn)定。
  • 集成化設計：樣氣、標氣、儀表氣及輔助氣等氣路接口均集成于儀器柜內(nèi)，不僅簡化了操作流程，還提高了工作效率和維護便捷性。

綜上所述，CQC氣體分析系統(tǒng)與Tigeroptics Halo 3 H2O 水分儀的**結合，為半導體制造等高精度工業(yè)領域提供了強有力的技術支持和保障.

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