高純氣體應(yīng)用系統(tǒng)中管道傳輸?shù)墓に囈蠹癆DEV微量氧分析儀應(yīng)用
高純氣體應(yīng)用系統(tǒng)中管道傳輸?shù)墓に囈?
氣體在半導(dǎo)體制造中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用，特別是在對(duì)氣體純度要求極高的工藝中。為了確保氣體的穩(wěn)定供應(yīng)，必須構(gòu)建高效且**的高純氣體應(yīng)用系統(tǒng)。其中，管道傳輸作為整個(gè)系統(tǒng)中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，其工藝要求尤為嚴(yán)格。
管道傳輸在整個(gè)高純氣體應(yīng)用系統(tǒng)中占據(jù)著核心地位。為了實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的氣體供應(yīng)，需要針對(duì)不同氣體的特性進(jìn)行專門設(shè)計(jì)。目前，半導(dǎo)體制造領(lǐng)域常見的管道系統(tǒng)架構(gòu)包括樹枝型和環(huán)型。樹枝型架構(gòu)更為常用，因?yàn)樗Y(jié)構(gòu)清晰，易于與其他系統(tǒng)集成。然而，對(duì)于需要保持恒定壓力的用氣點(diǎn)，環(huán)型架構(gòu)更為合適，但它的投資成本相對(duì)較高。高純氣體應(yīng)用系統(tǒng)中管道傳輸?shù)墓に囈蠹癆DEV微量氧分析儀應(yīng)用
由于半導(dǎo)體工廠規(guī)模龐大，管線較長，工藝氦氣用氣點(diǎn)眾多，因此，對(duì)工藝氮?dú)夤苈废到y(tǒng)的設(shè)計(jì)提出了更高的要求。為了滿足這一需求，可以采用樹枝型與環(huán)型相結(jié)合的設(shè)計(jì)方案。環(huán)型主管道主要確保用氣點(diǎn)的壓力穩(wěn)定，其管徑可小于樹枝型主管道的管徑，從而降低成本。
在半導(dǎo)體制程中，對(duì)于高純氣體應(yīng)用系統(tǒng)的管件材料選擇十分嚴(yán)格。不銹鋼是*常用的材料，因?yàn)樗哂袃?yōu)良的抗腐蝕性和凹洞抵抗性。特別地，對(duì)于傳輸危險(xiǎn)性氣體的管件，必須采用不銹鋼材質(zhì)。例如，TFT-LCD面板廠對(duì)于P級(jí)要求（X10-9級(jí)）的制程氣體傳輸，通常采用SUS316材質(zhì)的EP管材；對(duì)于一般制程氣體，則采用SUS316材質(zhì)的BA管材。高純氣體應(yīng)用系統(tǒng)中管道傳輸?shù)墓に囈蠹癆DEV微量氧分析儀應(yīng)用
對(duì)于這些管件的制作和施工要求十分嚴(yán)格。例如，表面粗糙度必須控制在一定范圍內(nèi)，以減少氣體污染和泄漏的風(fēng)險(xiǎn)。此外，管件之間的連接方式也是關(guān)鍵因素。*佳的做法是以連續(xù)且無接口的方式進(jìn)行連接，這樣可以*大限度地減少潛在的污染源和泄漏點(diǎn)。
在連接管件時(shí)，自動(dòng)軌道式焊接法（Orbital Welding）是理想的選擇，因?yàn)樗艽_保連接的高品質(zhì)。對(duì)于不銹鋼的焊接，應(yīng)使用氬弧焊技術(shù)，并確保在焊接過程中向管內(nèi)通入純凈的氬氣，以防止管件內(nèi)壁因不當(dāng)焊接而沉積碳，從而造成氣體污染。
另外，管件與各種配件之間的連接也必須采用金屬面對(duì)金屬面密封的方式進(jìn)行。常見的氣體管路連接接頭方式有VCR和LOK（Swagelok）兩種。選擇哪種接頭形式應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對(duì)高純度氣體的用氣要求和氣體本身特性進(jìn)行選擇。VCR接頭主要用于制程氣體和危險(xiǎn)性氣體的傳輸，而LOK接頭通常用于惰性氣體、氮?dú)庖约癈DA等氣體的傳輸。
在當(dāng)前的復(fù)雜環(huán)境中，**監(jiān)測氧氣含量變得至關(guān)重要。因此，我們特此推出一款專為復(fù)雜環(huán)境設(shè)計(jì)的OxyTrend電化學(xué)氧分析儀。這款設(shè)備符合ATEX分類（1/21區(qū)）的標(biāo)準(zhǔn)，確保在極端環(huán)境中穩(wěn)定運(yùn)行，為**生產(chǎn)提供堅(jiān)實(shí)屏障。高純氣體應(yīng)用系統(tǒng)中管道傳輸?shù)墓に囈蠹癆DEV微量氧分析儀應(yīng)用
OxyTrend憑借其出色的精度、耐用性和**性，成為電化學(xué)防爆氧氣分析儀的佼佼者。無論您需要監(jiān)測ppm級(jí)別的微量氧氣還是百分比濃度的氧氣，OxyTrend都能為您提供即時(shí)、準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)，讓您對(duì)生產(chǎn)環(huán)境了如指掌。
無論是在化工、石化、固化、電子、金屬、制藥、工藝等行業(yè)，還是在常規(guī)環(huán)境、空氣分離和液化等場景中，OxyTrend都能發(fā)揮重要作用。它確保了生產(chǎn)流程的**與優(yōu)化，助力能源的有效回收，并**控制環(huán)境參數(shù)，成為您生產(chǎn)過程中的得力助手。
OxyTrend以人為本的設(shè)計(jì)理念讓操作變得簡便，讓您輕松掌握。它適用于各種應(yīng)用場景，滿足ppm微量、百分比或純度測量的需求。其寬大的顯示屏提供了清晰易讀的讀數(shù)，微處理器確保所有功能的順暢運(yùn)行。透過玻璃的光學(xué)按鈕讓用戶在危險(xiǎn)區(qū)域也能輕松進(jìn)行菜單操作。
這款防爆氧氣分析儀既適用于室內(nèi)安裝也適用于室外環(huán)境。其電子元件被精心封裝在鋁制外殼中，而傳感器外殼則采用316不銹鋼材質(zhì)，可選擇直通式或KF-40連接方式。高性能的電化學(xué)電池具有抗干擾性，確保在各種應(yīng)用場景中都能表現(xiàn)出色。
OxyTrend提供了18個(gè)現(xiàn)場可設(shè)置的ppm或百分比范圍。用戶還可以根據(jù)需求自由配置測量范圍。此外，它還支持2線回路或使用RS485 ModBus RTU時(shí)的5線回路配置，滿足您不同的通信需求。
為了方便集成和擴(kuò)展，OxyTrend提供了多種輸出選項(xiàng)。您可以選擇雙線、回路供電的4-20mA變送器，或使用RS485串行總線進(jìn)行四線或五線連接。作為ModBus RTU主設(shè)備或從設(shè)備使用時(shí)，它還可以與其他ADEV 8RO4DI外部模塊連接，該模塊具有8個(gè)繼電器輸出和4個(gè)數(shù)字輸入，提升您的控制能力。
OxyTrend的硬件設(shè)計(jì)獨(dú)特，適合所有接線類型。其光學(xué)透過玻璃按鈕允許在不打開外殼的情況下進(jìn)行菜單操作，方便快捷。圖形LCD顯示屏不僅提供自動(dòng)范圍切換功能還具備趨勢可視化效果，讓您對(duì)數(shù)據(jù)變化一目了然。此外，這款分析儀還具備友好的菜單和直觀的界面設(shè)計(jì)、高精度電流傳感器、基于微處理器的電子零點(diǎn)自動(dòng)校準(zhǔn)技術(shù)等功能特點(diǎn)，提升您的使用體驗(yàn)。
OxyTrend的防爆版本經(jīng)過特殊設(shè)計(jì)專為危險(xiǎn)區(qū)域應(yīng)用打造無需在非危險(xiǎn)位置安裝齊納屏障。這款分析儀維護(hù)需求低具備傳感器壽命指示和NAMUR錯(cuò)誤指示等功能確保**的性能和準(zhǔn)確性穩(wěn)定性同時(shí)*大限度地延長預(yù)期壽命。
在傳感器技術(shù)方面ADEV的氧傳感器在整個(gè)測量范圍內(nèi)都表現(xiàn)出高水平的準(zhǔn)確性、可靠性和線性度。基于電偶電化學(xué)燃料電池原理制造的傳感器經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量控制程序保證了其**的性能和準(zhǔn)確性穩(wěn)定性。此外該傳感器設(shè)計(jì)簡潔只需*少的維護(hù)無需清潔電極或添加電解液從而*大限度地延長了預(yù)期壽命。根據(jù)不同的應(yīng)用需求傳感器能夠測量百萬分之0.01到100.0%的氧氣含量。
在完成管道系統(tǒng)的安裝后，還需進(jìn)行一系列嚴(yán)格的驗(yàn)收試壓與檢測工作。這些測試包括壓力測試、氦泄漏檢測、微量水分分析、微量氧分分析和顆粒測試等五項(xiàng)關(guān)鍵測試 。通過這些測試可以確保整個(gè)管道系統(tǒng)的性能和質(zhì)量達(dá)到預(yù)期標(biāo)準(zhǔn)。高純氣體應(yīng)用系統(tǒng)中管道傳輸?shù)墓に囈蠹癆DEV微量氧分析儀應(yīng)用
