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含氟電子特氣Ppb微量水檢測(cè)ADEV QZ360露點(diǎn)儀介紹|埃登威自動(dòng)化系統(tǒng)設(shè)備（上海）有限公司

含氟電子特氣Ppb微量水檢測(cè)ADEV QZ360露點(diǎn)儀介紹

在半導(dǎo)體工藝中，含氟電子特氣的應(yīng)用廣泛，從芯片生長(zhǎng)到器件封裝，幾乎每一個(gè)環(huán)節(jié)都離不開這些氣體。然而，含氟氣體具有一定的危險(xiǎn)性，包括毒性、腐蝕性、燃燒性等，因此對(duì)其純度和穩(wěn)定性的要求極高。在超純氣應(yīng)用中，氣體中殘余的濕氣對(duì)過程處理的正常運(yùn)作至關(guān)重要，而對(duì)濕氣的持續(xù)追蹤測(cè)量卻是一個(gè)難點(diǎn)。不過，ADEV儀表推出的QZ360露點(diǎn)儀為這一難題提供了有效的解決方案。含氟電子特氣Ppb微量水檢測(cè)ADEV QZ360露點(diǎn)儀介紹

QZ360露點(diǎn)儀是一款專門用于測(cè)量超高純氣體中微量水分含量的儀器。它基于ADEV儀表多年在石英震蕩露點(diǎn)傳感器生產(chǎn)和校驗(yàn)的專業(yè)經(jīng)驗(yàn)，結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)化的材料和制造流程，打造出適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用的低價(jià)位變送器。

QZ360露點(diǎn)儀的特點(diǎn)如下：含氟電子特氣Ppb微量水檢測(cè)ADEV QZ360露點(diǎn)儀介紹

  1. 測(cè)量下限低至-120°C（相當(dāng)于不到1ppbV），能夠準(zhǔn)確測(cè)量超純氣體中的微量水分。
  2. 測(cè)量穩(wěn)定，重復(fù)性好，能夠提供可靠的測(cè)量結(jié)果。
  3. 高度集成的采樣裝置和緊湊小巧的設(shè)計(jì)，使得儀器易于安裝和維護(hù)。
  4. 提供模擬和數(shù)字輸出，能夠方便地連接到控制系統(tǒng)或顯示模塊。含氟電子特氣Ppb微量水檢測(cè)ADEV QZ360露點(diǎn)儀介紹
  5. 可選的兩線制、三線制和危險(xiǎn)區(qū)域的型號(hào)，以及可自定義的產(chǎn)品設(shè)計(jì)，滿足各種特殊需求。

在使用含氟電子特氣的過程中，通過QZ360露點(diǎn)儀進(jìn)行Ppb微量水檢測(cè)，能夠確保含氟氣體的純度和穩(wěn)定性，從而提高半導(dǎo)體產(chǎn)品的性能和可靠性。隨著半導(dǎo)體工藝的不斷發(fā)展和進(jìn)步，對(duì)含氟電子特氣的需求將進(jìn)一步增加，而QZ360露點(diǎn)儀在保障含氟氣體質(zhì)量方面將發(fā)揮更加重要的作用。

含氟電子特氣Ppb微量水檢測(cè)ADEV QZ360露點(diǎn)儀介紹

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