半導(dǎo)體特氣概述及ADEV QZ360露點儀介紹
在半導(dǎo)體制造過程中，特氣是不可或缺的關(guān)鍵原材料。這些高純度氣體被廣泛用于薄膜沉積、摻雜、蝕刻和清潔等核心工藝，為集成電路、平面顯示器件、化合物半導(dǎo)體器件、太陽能電池和光纖等產(chǎn)品的制造提供了必要的支撐。
在所有這些特氣中，高純度氣體具有非常重要的作用。這些氣體必須具有極高的純度，以保證生產(chǎn)出的半導(dǎo)體產(chǎn)品的性能和可靠性。一般來說，特氣的純度要求達到5N-6N（N表示純度百分比中的9的個數(shù)，例如5.7N表示99.9997%，6N表示99.9999%），同時，金屬雜質(zhì)的含量也需要控制在極低的水平，通常在10-9級至10-12級之間。半導(dǎo)體特氣概述及ADEV QZ360露點儀介紹
然而，即使達到了這樣的純度標準，如果氣體中含有微量水分，也可能會對生產(chǎn)過程產(chǎn)生**影響。在半導(dǎo)體工業(yè)中，氣體的微量水分對于過程處理的正常運作至關(guān)重要。一直以來，對濕氣的持續(xù)追蹤測量都是個難點，需要用到復(fù)雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術(shù)。
現(xiàn)在，ADEV儀表推出了一款簡單、經(jīng)濟的露點儀QZ360，可以用來在線測量氣體的露點值。這款儀器基于石英震蕩原理，能夠測量下限低至驚人的-120°C (相當于不到1 ppbV)，為超純氣體中的微量水分測量提供了一個高效、精準的解決方案。半導(dǎo)體特氣概述及ADEV QZ360露點儀介紹
QZ360露點儀變送器是基于ADEV儀表多年在石英震蕩露點傳感器生產(chǎn)和校驗的專業(yè)經(jīng)驗，結(jié)合標準工業(yè)化的材料和制造流程，打造出的適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用的低價位變送器。它專為超高純氣體中的微量水分測量而設(shè)計，具有堅固而獨立的傳感器。
QZ360的使用和安裝都非常簡單，可以無縫接入純氣的過程應(yīng)用中，并可提供可靠的測量結(jié)果。其傳感器外殼由冷拉不銹鋼制成，內(nèi)部材料達到*小的吸濕性，潔凈度達到清潔室標準。該變送器經(jīng)過完整的校準和操作，并提供4-20mA的校準輸出，能夠方便地連接到ADEV的顯示模塊或控制系統(tǒng)。
此外，QZ360的設(shè)計具有*小的內(nèi)部結(jié)構(gòu)，確保了快速響應(yīng)速度，并保證了濕度測量時的*快響應(yīng)速度。傳感器密封墊圈可以在*小壓力10-9torr內(nèi)工作，同時整個系統(tǒng)可承受的*大壓力為240 Barg (3480 psi)。對于安裝和操作來說，QZ360同樣非常簡便。其G1/2”外螺紋VCR氣體接口的間距為 120mm，符合標準。整個產(chǎn)品的高度僅為150mm，重量小于500g。QZ360是一個兩線或三線制的變送器，提供*大的操作靈活性和12-28V直流電源的供電。如果應(yīng)用中需要顯示露點值或濕度值，QZ360還可以提供兩種顯示方式，包括直接連接顯示器或作為QZ360的電源。半導(dǎo)體特氣概述及ADEV QZ360露點儀介紹
總的來說，ADEV QZ360露點儀為超純氣體中的微量水分測量提供了一個高效、精準的解決方案。這款儀器不僅滿足了各種復(fù)雜和嚴苛的應(yīng)用需求，而且其簡單、經(jīng)濟的特性使得它在市場上具有顯著的優(yōu)勢。隨著科技的不斷進步和應(yīng)用需求的持續(xù)增長，相信這種高純度氣體測量技術(shù)將繼續(xù)發(fā)揮更大的作用，為高科技產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供有力支持。半導(dǎo)體特氣概述及ADEV QZ360露點儀介紹
