BCB高溫無氧烘箱與ADEV氧氣分析儀的融合應用
一、時代背景
在當前時代,國產半導體行業(yè)正經(jīng)歷著****的飛速發(fā)展。隨著行業(yè)規(guī)模的不斷擴大,半導體加工技術的要求也日益提高。在這個高品質、高工藝要求的背景下,無氧烘箱技術成為了行業(yè)內的焦點。特別是在半導體烘烤工藝中,氧濃度的準確監(jiān)控對產品質量起著至關重要的作用。
二、BCB高溫無氧烘箱的應用和特點BCB高溫無氧烘箱與ADEV氧氣分析儀的融合應用
BCB高溫無氧烘箱在現(xiàn)代工業(yè)中有著廣泛的應用,其主要應用于航空航天、石油化工、電子通訊等科研生產領域。在半導體加工中,它主要用于BPO/PI/BCB固化、IC封裝、FPD制造等工藝。
其特點如下:
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使用陶瓷纖維保溫材料,使得烤箱升溫迅速且具有良好的節(jié)能效果。
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擁有一個優(yōu)良的送排風系統(tǒng),確保工作區(qū)域溫度均勻。
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采用吸風玻璃纖維過濾器,確保工作區(qū)域的潔凈度。BCB高溫無氧烘箱與ADEV氧氣分析儀的融合應用
為確保無氧環(huán)境,烘箱在操作過程中會充入惰性氣體如氮氣或二氧化碳,以去除箱內的氧氣,從而防止高溫下的氧化反應。
三、無氧烘箱氧濃度監(jiān)控與ADEV氧氣分析儀
為確保無氧烘箱的工藝效果,準確的氧濃度監(jiān)控是必不可少的。無氧烘箱配備了氮氣控制系統(tǒng)和延時加熱功能,在加熱前自動充入氮氣,確保在加熱前工作區(qū)域已經(jīng)形成了低氧環(huán)境。此外,雙流充氮能量控制技術也受到了許多用戶的青睞。
而要實現(xiàn)上述功能,關鍵在于配備ADEV氧氣分析儀。ADEV氧氣分析儀為無氧烘箱提供了實時的氧濃度數(shù)據(jù),確保工藝過程中的氧氣濃度始終維持在設定范圍內。這不僅提高了產品的質量,還為企業(yè)節(jié)省了大量的氮氣資源,實現(xiàn)了經(jīng)濟效益與環(huán)境效益的雙贏。
結論:BCB高溫無氧烘箱與ADEV氧氣分析儀的融合應用
隨著半導體行業(yè)的飛速發(fā)展,無氧烘箱及其相關技術將在未來扮演更加重要的角色。而ADEV氧氣分析儀作為無氧烘箱的眼睛,將為半導體加工提供更加**、可靠的數(shù)據(jù)支持,推動行業(yè)向更高品質、更高效益的方向發(fā)展。
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