單晶硅氬氣回收裝置中準(zhǔn)確檢測(cè)氧含量使用ADEV在線微量氧分析儀
氬氣作為一種保護(hù)氣體包圍在單晶硅和多晶硅的液面周圍,可以保護(hù)單晶硅和多晶硅不被氧化。氬氣是一種單原子氣體,以原子狀 態(tài)存在,在高溫下沒有分子分解或原子吸熱的現(xiàn)象。氬氣的比熱容和熱傳導(dǎo)能力小,即本身吸 收量小,向外傳熱也少,所以氬氣的存在還可以減少熱能的散失,起到節(jié)能的作用。不僅如此 ,由于氬氣在單晶爐內(nèi)是流動(dòng)的,所以還可以帶走硅液中的揮發(fā)物,以及高溫下的其他部位的揮發(fā)物,這樣一來,就可以防止單晶硅或多晶硅液被沾污,而影響單晶硅的產(chǎn)品質(zhì)量。另外,氬氣從上而下形成均勻的層流從晶體表面掠過,可以帶走結(jié)晶潛熱,從而可以保證單晶硅正常生長。單晶硅氬氣用量一般是多晶硅的4倍,單晶逐步替代多晶,需求大量氬氣。因此，氬氣回收系統(tǒng)成為單晶硅廠家的認(rèn)可方案。單晶硅氬氣回收裝置中準(zhǔn)確檢測(cè)氧含量使用ADEV在線微量氧分析儀
單晶硅制造裝置向廢氬氣貯槽導(dǎo)入含有氮?dú)?、氧氣及一氧化碳的廢氬氣的工序、用去除所述廢氬氣中的固形物的預(yù)處理設(shè)備來去除所述固形物的工序、通過催化反應(yīng)分別將所述氧氣轉(zhuǎn)化為水、將所述一氧化碳轉(zhuǎn)化為二氧化碳的工序、及去除所述水、所述二氧化碳及所述氮?dú)獾玫交厥諝怏w的工序，在通過將催化劑配置于雙級(jí)壓縮機(jī)內(nèi)，僅用壓縮熱進(jìn)行所述催化反應(yīng)來得到所述回收氣體的工序中，在預(yù)先用干燥機(jī)去除所述水后，用常溫吸附塔吸附去除所述氮?dú)狻⑺龆趸?。由此提供一種使用簡(jiǎn)單且低成本的設(shè)備，就能夠穩(wěn)定去除從單晶硅制造裝置排出的大風(fēng)量氬氣中所含的雜質(zhì)氣體的氬氣。
在氬氣回收過程中，需要實(shí)時(shí)在線檢測(cè)氬氣中微量氧含量的數(shù)值，以確認(rèn)氬氣的純度，ADEV 8864H在線微量氧分析儀系統(tǒng)采用氧化鋯原理，測(cè)試準(zhǔn)確，具有4-20mA模擬輸出，數(shù)據(jù)儲(chǔ)存及RS485輸出，測(cè)試范圍0-10ppm,0-100ppm等可選。
此外，該ADEV微量氧分析儀還應(yīng)用在：單晶硅氬氣回收裝置中準(zhǔn)確檢測(cè)氧含量使用ADEV在線微量氧分析儀
電子制造：
* 焊劑生產(chǎn)
* 半導(dǎo)體制造
* 氣體質(zhì)量控制
*冶金行業(yè)
* 熱處理
* 鋼鐵制造
* 鑄造和燒結(jié)
*制藥
* 惰性氣體包裝單晶硅氬氣回收裝置中準(zhǔn)確檢測(cè)氧含量使用ADEV在線微量氧分析儀
* 發(fā)酵
* 制氮機(jī)
*過程制造
* 陶瓷制品
* 鏡片制造
* 食品包裝
* 玻璃／纖維光學(xué)
* 惰性氣體焊接
* 燈具制造
*電力
* 環(huán)境控制
* R&D
* 鍋爐監(jiān)控
等各個(gè)行業(yè)。
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