超高純氣體在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中CQC系統(tǒng)該如何選擇和配置
氣體是半導(dǎo)體制造過程中的一個(gè)重要組成部分，我們用氣體來產(chǎn)生塑造半導(dǎo)體電氣特性所需的化學(xué)反應(yīng)。由于氣體系統(tǒng)的復(fù)雜性，所使用的氣體在制造過程中的每一個(gè)階段都需要精準(zhǔn)，來配置半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝。
目前隨著半導(dǎo)體行業(yè)的不斷發(fā)展和演變，在這個(gè)過程中使用的高純氣體也在不斷增加。使用的一些主要?dú)怏w包括氮?dú)釴2、氧氣O2、氬氣Ar和氫氣H2.超高純氣體在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中CQC系統(tǒng)該如何選擇和配置
由于超高純氣體在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中沒有辦法少，氣體的品質(zhì)及氣體的穩(wěn)定性變的非常重要. CQC系統(tǒng)也由此誕生。CQC系統(tǒng)主要是由氣體的微量水分分析儀PPB和PPT級(jí)別，微量氧分析儀ppb級(jí)別和PPT級(jí)別，顆粒分析儀以及氣象色譜分析儀組成，針對(duì)高純氣體中的水分, 氧分, 固體顆粒物，碳氧化合物，碳?xì)浠衔?，? 氫等雜質(zhì)氣體的含量進(jìn)行實(shí)時(shí)測(cè)量和監(jiān)控。目前，半導(dǎo)體行業(yè)常用的儀器品牌有Tigeroptics/光能科技水分儀，日本液空微量氧分析儀/Servomex氧分儀，PEAK氣相色譜儀，PMS/Accudevice顆粒儀等品牌，這些品牌目前是半導(dǎo)體行業(yè)中很主流的CQC設(shè)備品牌。超高純氣體在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中CQC系統(tǒng)該如何選擇和配置
CQC系統(tǒng)主要由氣體的水分分析儀，氧分分析儀，顆粒分析儀和氣相色譜儀組成，針對(duì)氣體中的水分，氧分，固體顆粒物，碳氧化合物，碳?xì)浠衔铮?，氫等雜質(zhì)氣體的含量進(jìn)行測(cè)量監(jiān)控。
半導(dǎo)體和LED制造商們依靠超高純度的工藝氣體，如氨和磷化氫來制造高科技產(chǎn)品，如智能手機(jī)、LED電視和燈泡，以及消費(fèi)者很需要的CPU和內(nèi)存芯片。這類關(guān)鍵氣體中的殘留水分會(huì)降低設(shè)備的性能，降低產(chǎn)量，并可能對(duì)產(chǎn)品和企業(yè)盈利能力產(chǎn)生負(fù)面影響。光能科技水分分析儀的設(shè)計(jì)目的是為用戶提供一個(gè)簡單的經(jīng)濟(jì)有效的緊湊的微量水分析儀，以確保微量的水分在NH3, PH3和AsH3氣體中在要求的規(guī)格內(nèi)。該儀器采用了**壓力控制器，光纖衰蕩技術(shù)。
日本液空ppb在線氧氣分析儀0-10ppb參數(shù):精度:+-0.5ppb可選范圍:0-10ppb,0-10000ppb。超高純氣體在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中CQC系統(tǒng)該如何選擇和配置
所有 CQC 儀器柜都配置有各分析儀器所需硬件，即儀器機(jī)柜、管件、閥件、氫氣泄漏偵測(cè)器、零點(diǎn)純化器、過濾器等。樣氣、標(biāo)氣、儀表氣、輔助氣等氣路銜接口均設(shè)置于儀器柜上方，并于各儀器機(jī)柜上方設(shè)置有 4”負(fù)壓抽風(fēng)口。所需管路，閥件，輔助件均為 EP 級(jí)，并遵照客戶所規(guī)定品牌供應(yīng)商;管路焊接均采用自動(dòng)焊接， 以符合超高純氣體使用要求。
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