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Teledyne便攜式真空計(jì)HPM456校準(zhǔn)裝置總代理哪家|埃登威自動(dòng)化系統(tǒng)設(shè)備（上海）有限公司

Teledyne便攜式真空計(jì)HPM456校準(zhǔn)裝置總代理哪家

便攜式真空計(jì)校準(zhǔn)裝置主要由校準(zhǔn)室、抽氣系統(tǒng)和進(jìn)氣系統(tǒng)三部分組成。整體尺寸為450mm×400mm×750mm，總重量不到40kg。該裝置的外形如圖1所示。

便攜式真空計(jì)校準(zhǔn)裝置的原理和結(jié)構(gòu)如圖2所示，RP為機(jī)械泵。TMP是分子泵；VC1是校準(zhǔn)室；VC2是調(diào)壓室；C1、C2和C3分別為直徑約為0.02、0.1和11毫米的孔隙；V1和V10是截止閥；V2是全金屬角閥；V3、V4、V5、V6為波紋管截止閥；V7和V9是球閥；V11是標(biāo)準(zhǔn)容積的閥門；G1和G4在監(jiān)控真空表；G2和G3是全量程為133，1.33× 105 Pa的電容式薄膜真空計(jì)。Teledyne便攜式真空計(jì)HPM456校準(zhǔn)裝置總代理哪家

1.校準(zhǔn)室

校準(zhǔn)室VC1是一個(gè)直徑為200 mm的球形容器。球形結(jié)構(gòu)是真空計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)的理想結(jié)構(gòu)，氣體分子可以很容易地均勻分布在球體中。五個(gè)CF35法蘭和兩個(gè)8VCR接口設(shè)計(jì)在校準(zhǔn)室的赤道上，用于安裝被校準(zhǔn)的真空計(jì)和參考標(biāo)準(zhǔn)。校準(zhǔn)室和法蘭采用SUS316L鋼，內(nèi)表面經(jīng)過電解拋光和化學(xué)清洗，并通過高溫脫氣去除材料內(nèi)部的氣體。美國(guó)INFICON公司生產(chǎn)的電容薄膜真空計(jì)G2和G3安裝在校準(zhǔn)室內(nèi)作為參考標(biāo)準(zhǔn)。Teledyne便攜式真空計(jì)HPM456校準(zhǔn)裝置總代理哪家

2.抽氣系統(tǒng)

泵送系統(tǒng)由主泵分子泵TMP、機(jī)械泵RP、全金屬角閥V2、旁通泵送閥V3、孔板C3和閥V10組成。氮?dú)夥肿颖玫臉?biāo)稱抽速為80L/s，通過一個(gè)全金屬角閥與校準(zhǔn)室相連。在全金屬角閥和校準(zhǔn)室之間，安裝一個(gè)直徑約為11mm的圓形薄壁限流抽氣孔C3，其對(duì)氮?dú)獾碾妼?dǎo)約為10 L/s。分子泵的前級(jí)采用一個(gè)標(biāo)稱抽速為2L/s的機(jī)械泵，在機(jī)械泵和分子泵之間安裝一個(gè)電磁隔離閥V1，用于在旁通排氣閥V3打開時(shí)隔離分子泵和機(jī)械泵。Teledyne便攜式真空計(jì)HPM456校準(zhǔn)裝置總代理哪家

3.進(jìn)氣系統(tǒng)

進(jìn)氣系統(tǒng)主要由穩(wěn)壓室VC2、閥門V5、V6、V7、V8和V11以及小孔C1和C2組成，其中閥門V7與氣源相連。穩(wěn)壓室VC2是一個(gè)容積為2L的不銹鋼容器，上面裝有皮拉尼真空計(jì)G1。用靜態(tài)比較法和靜態(tài)膨脹法標(biāo)定時(shí)，關(guān)閉閥門V8和V9，然后通過V7和V5(或V6)直接通入空氣；用動(dòng)態(tài)流量法標(biāo)定時(shí)，通過閥門V7和V8向VC2通入一定壓力的氣體，然后關(guān)閉V7，打開V5(或V6)，再通過V8調(diào)節(jié)從VC2通入VC1的氣體壓力。

通用
200系列質(zhì)量流量計(jì)和控制器規(guī)格(基于氮?dú)?；標(biāo)準(zhǔn)溫度和壓力-0℃和760托
通用氣體流量計(jì)和控制器
流速范圍從0-10 sccm到0-500 slm。
？大流量可達(dá)15,000 slm。
？* *緊密度
？包括模擬輸出
？不銹鋼材料
？常閉控制閥

[氣體流量計(jì)]
HFM 200 (0-10 sccm至0-25，000 sccm)
HFM 201 (0-25 slm至0-500 slm)
HFM 200與LFE (0-25 slm至0-15，000 slm)
[氣體流量控制器]
HFC 202 (0-10 sccm至0-25，000 sccm)
HFC 203 (0-25 slm至0-500 slm)
HFM 200與LFE (0-25 slm至0-15，000 slm)
200系列
[流量計(jì)和控制器]
快速響應(yīng)，低壓降
300系列質(zhì)量流量計(jì)和控制器規(guī)格(基于氮?dú)?；標(biāo)準(zhǔn)溫度和壓力-0℃和760托
通用氣體流量計(jì)和控制器
高響應(yīng)、低壓降型
流速范圍從0-5 sccm到8000 slm。
？金屬密封件
？包括模擬輸出
？不銹鋼材料
？常閉控制閥

[氣體流量計(jì)]
HFM 300 (0-5 sccm至0-25，000 sccm)
HFM 301 (0-25 slm至0-1000 slm)
HFM 305 (0-1000 slm至0-3000 SLM)
HFM 306 (0-2500 slm至0-8000 SLM)
[氣體流量控制器]
氫氟碳化合物302 (0-5 sccm至0-25，000 sccm)
HFC 303 (0-25 slm至0-1000 slm)
HFC 307 (0-1000 slm至0-3，000 slm)
300系列
[流量計(jì)和控制器]
數(shù)字、快速響應(yīng)、低壓降
300-D系列質(zhì)量流量計(jì)和控制器規(guī)范(基于氮?dú)?；標(biāo)準(zhǔn)溫度和壓力-0℃和760托
數(shù)字、高響應(yīng)、低壓差型
流速范圍從0-5 sccm到8000 slm。
？金屬密封件
？**
？或RS485輸出。
？模擬輸出

[氣體流量計(jì)]
HFM-D-300 (0-5 sccm至0-25，000 sccm)
HFM-D-301 (0-25 slm至0-1000 slm)
HFM-D-305 (0-1000 slm至0-3000 SLM)
[氣體流量控制器]
HFC-D-302 (0-5 sccm至0-25，000 sccm)
HFC-D-303 (0-25 slm至0-1000 slm)
HFC-D-307 (0-1000 slm至0-3，000 slm)
數(shù)字300系列
[流量計(jì)和控制器]
新型工業(yè)質(zhì)量流量計(jì)
400-I系列質(zhì)量流量計(jì)規(guī)格(基于氮?dú)?；標(biāo)準(zhǔn)溫度和壓力-0℃和760托
新產(chǎn)品-工業(yè)應(yīng)用Teledyne便攜式真空計(jì)HPM456校準(zhǔn)裝置總代理哪家
流量范圍從0-10 slm到0-2500 slm。
？**
？或數(shù)字模擬輸出。
？各種氣體的內(nèi)置校正值
？帶求和功能
？適合在惡劣環(huán)境下工作。
？它也可以與網(wǎng)絡(luò)接口一起使用。

[氣體流量計(jì)]
HFM-I-401(0-10秒至0-350秒)
HFM-I-405 (0-100 slm至0-2500 slm)
400系列
[質(zhì)量流量計(jì)]
數(shù)字、快速響應(yīng)、低壓降
電源和顯示器
高溫型
流量范圍包括
0-10 sccm至0-14000 slm
？高達(dá)200°C的高溫
？不銹鋼材料
【THPS-100單通道】
目錄
操作指南
【THPS 400頻道4】
目錄
操作指南
NALL系列
PowerPods
[流量計(jì)和控制器]
【電源和顯示】




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