硅烷 硅烷氣體 5N高純硅烷氣露點(diǎn)儀微量水微量氧分析儀如何選擇
硅烷 硅烷氣體 5N高純硅烷氣
英文名稱：Sulfane
CAS號(hào)：7803-62-5
分子式：SiH4
分子量：32.12
規(guī)格：99.999%
包裝：44L、47L鋼瓶充裝，也可根據(jù)客戶需要，分裝到8L的氣瓶中
熔
點(diǎn)(101.325kPa)： -185.0℃
沸點(diǎn)(101.325kPa)： -111.5℃
液體密度(-185℃)： 711kg/m3 硅烷 硅烷氣體 5N高純硅烷氣露點(diǎn)儀微量水微量氧分析儀如何選擇
氣體密度(0℃，100kPa)： 1.42kg/m3
相對(duì)密度(氣體，空氣=1，20℃，101.325kPa)：1.114
比容(21.1℃，101.325kPa)： 0.7518m/kg
氣液容積比(15℃，100kPa)：412L/L
臨界溫度： -3.4℃
臨界壓力：4843kPa
硅烷有毒。硅烷在半導(dǎo)體工業(yè)中主要用于制作高純多晶硅、通過氣相淀積制作二氧化硅薄膜、氮化硅薄膜、多晶硅隔離層、多晶硅歐姆接觸層和異質(zhì)或同質(zhì)硅外延生長原料、以及離子注入源和激光介質(zhì)等，還可用于制作太陽能電池、光導(dǎo)纖維和光電傳感器等。
硅烷廣泛應(yīng)用于微電子、光電子工業(yè)。可用于制造高純度多晶硅、單晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、碳化硅、異質(zhì)硅、各種金屬硅化物等。因?yàn)樗呒兌群湍軐?shí)現(xiàn)精細(xì)控制,已成為許多其他硅源無法取代的重要特種氣體。硅烷 硅烷氣體 5N高純硅烷氣露點(diǎn)儀微量水微量氧分析儀如何選擇
硅烷氣是太陽能電池生產(chǎn)過程中不可或缺的材料，因?yàn)樗菍⒐璺肿痈街陔姵乇砻娴?有效方式。在高于400℃的環(huán)境下，硅烷氣分解成氣態(tài)硅和氫氣。氫氣燃燒后，剩下的就是純硅了。此外，硅烷氣可以說是無處不在。除了光伏產(chǎn)業(yè)外，還有很多制造工廠需要用到硅烷氣，如平板顯示器、半導(dǎo)體、甚至鍍膜玻璃生產(chǎn)廠。
便攜式氧分析儀G9600資料
應(yīng)用：
?？諝夥蛛x和液化
。純氣態(tài)碳?xì)浠衔锪髀繁O(jiān)測(cè)
。半導(dǎo)體制造業(yè)硅烷 硅烷氣體 5N高純硅烷氣露點(diǎn)儀微量水微量氧分析儀如何選擇
。初級(jí)液體給料和可燃液體保護(hù)氣層的操作
。氣態(tài)單體過程分析──氯乙烯，丙烯，丁二烯，乙烯，橡膠
。氣體純度鑒定
。手套箱或管路泄漏檢測(cè)
。天然氣處理和傳輸
。催化劑保護(hù)
。異型金屬的惰性氣體焊接
。波峰和回流焊接
。熱處理和退火
。核燃料處理和同位素分離
。化學(xué)反應(yīng)分析
。晶體培育
。塑料制造業(yè)
技術(shù)參數(shù)：
量程：0～10/100/1000ppm，0～1%/5%FS，自動(dòng)切換
精度：<1%FS
測(cè)量介質(zhì)：惰性氣體、氦氣、氫氣、混合氣體和（CO2）酸性氣體
先進(jìn)的S8201傳感器，零維護(hù)，使用壽命24個(gè)月
本安專業(yè)設(shè)計(jì)
5個(gè)標(biāo)準(zhǔn)分析量程硅烷 硅烷氣體 5N高純硅烷氣露點(diǎn)儀微量水微量氧分析儀如何選擇
入口壓力：0.3-2公斤
自動(dòng)或手動(dòng)選擇量程
不銹鋼旁路取樣系統(tǒng)
防水外殼
測(cè)量原理：燃料電池法
校準(zhǔn)：建議采用含氧量為80%FS的標(biāo)準(zhǔn)氣
補(bǔ)償方式：溫度補(bǔ)償
氣路連接：1/8"卡套接頭
控制：防水按鍵；菜單驅(qū)動(dòng)量程選擇、校準(zhǔn)和系統(tǒng)功能
顯示：大屏幕液晶顯示，顯示分辨率0.01ppm；
電源：可充電電池，充電周期60天（帶泵工作為1天）
響應(yīng)時(shí)間：T90小于10秒
取樣系統(tǒng)：流量控制閥、取樣/旁路切換閥、流量計(jì)
靈敏度：\<0.5%FS
可選配件：
手提式便攜箱
其它取樣調(diào)節(jié)配件
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