連續(xù)退火爐氣氛控制微量氧分析儀露點(diǎn)儀和氫氣分析儀用進(jìn)口ADEV品牌
連續(xù)退火爐廣泛應(yīng)用于化工、石油、食品、冶金、機(jī)械、輕工、電力、船舶、造紙、礦山、醫(yī)藥、集中供熱等工業(yè)部門。隨著社會(huì)生產(chǎn)力的發(fā)展，其在各行業(yè)中的應(yīng)用越來越廣泛。退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。熱處理是針對(duì)不同的效果而設(shè)計(jì)的?？梢约訜峋约せ顡诫s劑，將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面，使致密沉積的薄膜，改變生長(zhǎng)的薄膜的狀態(tài)，修復(fù)注入的損傷，移動(dòng)摻雜劑或?qū)诫s劑從一個(gè)薄膜轉(zhuǎn)移到另一個(gè)薄膜或從薄膜進(jìn)入晶圓襯底。連續(xù)退火爐氣氛控制微量氧分析儀露點(diǎn)儀和氫氣分析儀用進(jìn)口ADEV品牌，其他產(chǎn)品：微量氧分析儀,藥品殘氧儀,露點(diǎn)儀,熱導(dǎo)氣體分析儀,GE流量計(jì),OX-1氧傳感器,頂空分析儀,紅外氣體分析儀,高溫濕度儀,西門子U23分析儀,ppb微量水分析儀,OXY.IQ氧分析儀,煙氣濕度儀,燃?xì)鉄嶂祪x,Kaye溫度驗(yàn)證儀,L&W白度,儀激光氧分析儀,壓縮空氣露點(diǎn)儀,干燥機(jī)露點(diǎn)儀,激光氣體分析儀,便攜式露點(diǎn)儀,便攜式微量氧分析儀
熱處理時(shí)，與工件直接接觸的介質(zhì)或氣氛主要有液休介質(zhì)和氣體介質(zhì)兩大類。
退火爐液體介質(zhì)包括鹽浴、堿浴和金屬浴等，通常為中性的，即基本上不改變工件表面成份。
氣體介質(zhì)主耍有兩大類，一是空氣，它是含有78%N2，21%O2和1%其它氣體的天然氣體。在空氣中加熱，往往會(huì)產(chǎn)生工件表面氧化脫碳現(xiàn)象。采用一定的方法使退火爐爐內(nèi)的空氣稀薄到一定程度之后，爐內(nèi)即為真空。由于真空度可以人工調(diào)節(jié)和控制。連續(xù)退火爐氣氛控制微量氧分析儀露點(diǎn)儀和氫氣分析儀用進(jìn)口ADEV品牌
因而，從另一個(gè)角度，真空也可以看作是一種可控氣氛。這時(shí)，控制的不是氣氛的種類面是氣體的數(shù)量(有時(shí)，也向真空爐中充填其它氣體用于化學(xué)熱處理等)。另一類是可控氣氛，根據(jù)本身的性質(zhì)和用途，又可分為保護(hù)氣氛和化學(xué)熱處理用氣氛。
退火爐保護(hù)加熱金屬不氧化脫碳的氣氛稱為保護(hù)氣氛。在保護(hù)氣氛的基礎(chǔ)上加入相應(yīng)的富化氣，或者專門制備一定的氣氛，即可供化學(xué)熱處理之用。現(xiàn)代熱處理爐大多采用可控氣氛。本節(jié)主要介紹常用熱處理可控氣氛的制備和控制方法等。連續(xù)退火爐氣氛控制微量氧分析儀露點(diǎn)儀和氫氣分析儀用進(jìn)口ADEV品牌
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