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Michell Pura高純氣體露點儀可以測量ppb級別微量水用于半導(dǎo)體|埃登威自動化系統(tǒng)設(shè)備（上海）有限公司

Michell Pura高純氣體露點儀可以測量ppb級別微量水用于半導(dǎo)體

--專為高度純凈的氣體應(yīng)用場合測量微量濕度而設(shè)計的經(jīng)濟型變送器，埃登威價格超低。
結(jié)構(gòu)堅固的自給式濕度計。

在很多超純氣應(yīng)用，諸如半導(dǎo)體工業(yè)中，氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運作至關(guān)重要。一直以來，對濕氣的持續(xù)追蹤測量都是個難點，需要用到復(fù)雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術(shù)。然而密析爾儀表目前則向市場推出了簡單的、經(jīng)濟的、相當(dāng)有效的方案，用來在線測量露點值，下限低至驚人的-120°C (相當(dāng)于不到 1 ppbV)。主營:微量氧分析儀,藥品殘氧儀,露點儀,熱導(dǎo)氣體分析儀,GE流量計,OX-1氧傳感器,頂空分析儀,紅外氣體分析儀,高溫濕度儀,西門子U23分析儀,ppb微量水分析儀,OXY.IQ氧分析儀,煙氣濕度儀,燃?xì)鉄嶂祪x,Kaye溫度驗證儀,L&W白度,儀激光氧分析儀,壓縮空氣露點儀,干燥機露點儀,激光氣體分析儀,便攜式露點儀,便攜式微量氧分析儀

Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點傳感器生產(chǎn)和校驗的專業(yè)經(jīng)驗，結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)化的材料和制造流程，打造出的適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用的低價位變送器。 Michell Pura高純氣體露點儀可以測量ppb級別微量水用于半導(dǎo)體

亮點

測量下限 -120°C 露點 (1 ppbV)
測量穩(wěn)定，重復(fù)性好
高度集成的采樣裝置
模擬和數(shù)字輸出
安裝簡便
VCR 過程接口
設(shè)計緊湊小巧主營:微量氧分析儀,藥品殘氧儀,露點儀,熱導(dǎo)氣體分析儀,GE流量計,OX-1氧傳感器,頂空分析儀,紅外氣體分析儀,高溫濕度儀,西門子U23分析儀,ppb微量水分析儀,OXY.IQ氧分析儀,煙氣濕度儀,燃?xì)鉄嶂祪x,Kaye溫度驗證儀,L&W白度,儀激光氧分析儀,壓縮空氣露點儀,干燥機露點儀,激光氣體分析儀,便攜式露點儀,便攜式微量氧分析儀
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PuraMichell Pura高純氣體露點儀可以測量ppb級別微量水用于半導(dǎo)體
技術(shù)指標(biāo)

傳感器
傳感器類型密析爾陶瓷濕度傳感器
量程 -120 ~ -40°C 露點 (校驗到 -100 ~ -40°C)
精度 ±1°C -40 ~ -60°C;
±2°C -61 ~ -100°C;Michell Pura高純氣體露點儀可以測量ppb級別微量水用于半導(dǎo)體
±4°C -101 ~ -120°C (估算值)主營:微量氧分析儀,藥品殘氧儀,露點儀,熱導(dǎo)氣體分析儀,GE流量計,OX-1氧傳感器,頂空分析儀,紅外氣體分析儀,高溫濕度儀,西門子U23分析儀,ppb微量水分析儀,OXY.IQ氧分析儀,煙氣濕度儀,燃?xì)鉄嶂祪x,Kaye溫度驗證儀,L&W白度,儀激光氧分析儀,壓縮空氣露點儀,干燥機露點儀,激光氣體分析儀,便攜式露點儀,便攜式微量氧分析儀
分辨率 0.1°C -40 ~ -79.9°C;
1°C -80 ~ -100°C;
1 ~ 3°C -100 ~ -120°C
壓力 *** 10-9 torr; 24 MPa
氣體流量 1 ~ 5 Nl/min
電氣
電源通常 24 V DC, ***10 V ~ 28 V , 電流 25 mA
輸出 4-20 mA 輸出, 對應(yīng)范圍可由專用軟件調(diào)整, 調(diào)整量程從 1 ~ 80°C (標(biāo)配提供)
負(fù)載 = 100 Ω + 50 Ω x (V 電源 -8)
輸出出錯狀態(tài) 標(biāo)準(zhǔn)輸出出錯信息如下: 23 mA = 傳感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限
機械性能 ?
傳感器套筒不銹鋼, 0.1-0.2 Ra ?m 電鍍內(nèi)拋光主營:微量氧分析儀,藥品殘氧儀,露點儀,熱導(dǎo)氣體分析儀,GE流量計,OX-1氧傳感器,頂空分析儀,紅外氣體分析儀,高溫濕度儀,西門子U23分析儀,ppb微量水分析儀,OXY.IQ氧分析儀,煙氣濕度儀,燃?xì)鉄嶂祪x,Kaye溫度驗證儀,L&W白度,儀激光氧分析儀,壓縮空氣露點儀,干燥機露點儀,激光氣體分析儀,便攜式露點儀,便攜式微量氧分析儀
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氣路連接端口 Premium 或 OEM 型: ?" m VCR 接口
Pura Sensor 型: ?" m VCR 接口
安裝配置 Premium 或 OEM 型: 120.00mm 長, 氣路端口的端面密封. 無需預(yù)留管路空隙
底座上有 2 個 M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔, 斜對面橫豎間距均為 20 x 20mm
Pura Sensor 型: 適用于用戶提供的 ?" VCR 端口中
尺寸 Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm
Pura Sensor 型: 132 x 35mm
重量 Premium 或 OEM 型: 450g
Pura Sensor 型: 180gMichell Pura高純氣體露點儀可以測量ppb級別微量水用于半導(dǎo)體
包裝 Pura: 雙層包裝, 惰性氣體填充密封
Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 單層包裝
所有選配件: 獨立包裝運輸主營:微量氧分析儀,藥品殘氧儀,露點儀,熱導(dǎo)氣體分析儀,GE流量計,OX-1氧傳感器,頂空分析儀,紅外氣體分析儀,高溫濕度儀,西門子U23分析儀,ppb微量水分析儀,OXY.IQ氧分析儀,煙氣濕度儀,燃?xì)鉄嶂祪x,Kaye溫度驗證儀,L&W白度,儀激光氧分析儀,壓縮空氣露點儀,干燥機露點儀,激光氣體分析儀,便攜式露點儀,便攜式微量氧分析儀
Sensor 型在傳感芯片端自帶保護套,用以運輸及操作
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應(yīng)用

半導(dǎo)體/電子業(yè)

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