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ADEV石英晶體振蕩微量水分析儀針對(duì)半導(dǎo)體晶圓廠和高純氣領(lǐng)域露點(diǎn)測(cè)試方案|埃登威自動(dòng)化系統(tǒng)設(shè)備（上海）有限公司

ADEV石英晶體振蕩微量水分析儀針對(duì)半導(dǎo)體晶圓廠和高純氣領(lǐng)域露點(diǎn)測(cè)試方案


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意大利ADEV公司很高興宣布推出自己的微量水分異動(dòng)傳感器QZ3202及QZ360系列高純氣體露點(diǎn)儀ppb微量水分析儀。 QZ360是一款在線的微量水分傳感器，專為半導(dǎo)體晶圓廠的高純惰性氣體而設(shè)計(jì)； 適合多點(diǎn)安裝在氣路進(jìn)入制程工具前的zui末端。 QZ360安裝的管網(wǎng)上，可以快速的（小于一分鐘）偵測(cè)出在1 ppb 基準(zhǔn)上低至20ppb 的濕度異動(dòng)。ADEV石英晶體振蕩微量水分析儀針對(duì)半導(dǎo)體晶圓廠和高純氣領(lǐng)域露點(diǎn)測(cè)試方案，    這款新的傳感器是ADEV儀表針對(duì)晶圓工業(yè)在尺寸和規(guī)格方面zui新需求的相應(yīng)。晶圓廠不斷地在推動(dòng)技術(shù)以達(dá)到在元件尺寸和封裝上的要求。新的更大尺寸的晶圓具有更昂貴的單位價(jià)值，使得晶圓廠不斷提高產(chǎn)出，減少由于污染而導(dǎo)致的殘品率。當(dāng)前規(guī)定大宗散裝惰性氣（N2，Ar）的潮氣污染水平要小于10 ppb， 而趨勢(shì)是要降低至1ppb以下。ADEV石英晶體振蕩微量水分析儀針對(duì)半導(dǎo)體晶圓廠和高純氣領(lǐng)域露點(diǎn)測(cè)試方案


    為了同時(shí)保證達(dá)到高靈敏度和快速反應(yīng)的要求，ADEV創(chuàng)造了一種獨(dú)特的偵測(cè)算法，并輔以全新的適合高純氣的石英晶體振蕩傳感器設(shè)計(jì)。除此以外，QZ360ppb微量水分析儀還可以滿足半導(dǎo)體行業(yè)的特殊的包裝要求，QZ360露點(diǎn)儀達(dá)到了材質(zhì)和表面處理的zui高標(biāo)準(zhǔn)， 整個(gè)裝配和包裝都是在100 的潔凈室完成。在包裝前，ADEV儀器公司還要在10-9 bar / 秒的條件下對(duì)QZ360露點(diǎn)儀進(jìn)行密封性測(cè)試，以達(dá)到在兩年內(nèi)免維護(hù)和正常工作的設(shè)計(jì)要求。信號(hào)通過MODBUS輸出，以LED交通燈的形式顯示警告和報(bào)警狀態(tài)。將來還將具有4-20mA輸出。ADEV石英晶體振蕩微量水分析儀針對(duì)半導(dǎo)體晶圓廠和高純氣領(lǐng)域露點(diǎn)測(cè)試方案


   通常，在大宗散裝氣體進(jìn)入FAB前的zui末端，通過安裝大型而復(fù)雜的儀器來監(jiān)測(cè)濕度污染，存在著價(jià)格昂貴而且反應(yīng)速度慢的問題， 而大宗氣體的濕度污染是不常發(fā)生的； 與此相反，在FAB的內(nèi)部，由許多的分管，節(jié)點(diǎn)，和使用點(diǎn)而構(gòu)成的管網(wǎng)，即傳統(tǒng)的濕度監(jiān)測(cè)點(diǎn)的下游，潮氣進(jìn)入?yún)s是經(jīng)常發(fā)生的，造成的原因可能是微小的泄漏，系統(tǒng)設(shè)計(jì)缺陷，元件損壞，或者流程上的失敗。ADEV石英晶體振蕩微量水分析儀針對(duì)半導(dǎo)體晶圓廠和高純氣領(lǐng)域露點(diǎn)測(cè)試方案，QZ360ppb微量水分析儀的小巧尺寸和**概念使得在多個(gè)使用點(diǎn)的安裝成為可行，成為保護(hù)晶圓制造流程的一個(gè)投入少，見效快的手段


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