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半導(dǎo)體高純氣體測(cè)量ppb微量水含量使用ADEV石英振蕩露點(diǎn)儀


石英振蕩技術(shù)由于其精度極高，所以被廣泛的應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)，電子氣體的監(jiān)測(cè)等等，工業(yè)的很少用到這么高別的，因?yàn)楣I(yè)的要求通常在1ppm以上。至于工業(yè)測(cè)量水分的技術(shù)主要分為：


鏡面法半導(dǎo)體高純氣體測(cè)量ppb微量水含量使用ADEV石英振蕩露點(diǎn)儀西門子U23分析儀
電阻法
電容法

電解法



上述幾種中鏡面法和電解法屬于**測(cè)量法，被定為國(guó)標(biāo)推薦方法。其他的電阻法和電容法由于測(cè)量時(shí)候不夠準(zhǔn)確，一般只作為定性判斷使用。但是鏡面法通常到1ppm時(shí)就已經(jīng)到達(dá)極限，我經(jīng)常看到有些產(chǎn)品會(huì)在自己的產(chǎn)品資料中寫可以測(cè)量露點(diǎn)20到-120度，其實(shí)全是廣告，他們的儀器能否溯源到NIST（美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)局）？(ppb微量水分析儀）半導(dǎo)體高純氣體測(cè)量ppb微量水含量使用ADEV石英振蕩露點(diǎn)儀

石英振蕩測(cè)量水分是一種全新的科技，它2001年商品化，4年前我接觸到這個(gè)科技就一直堅(jiān)信這種科技會(huì)取代很多其他測(cè)量水分的手段，但是它的成本一直比較高。



這種測(cè)量方法有幾的系列的產(chǎn)品，其量程有很幾個(gè)別：
0.2ppb-5ppm 
0.4ppb-20ppm 

2ppb-20ppm 

20ppb-5000ppm半導(dǎo)體高純氣體測(cè)量ppb微量水含量使用ADEV石英振蕩露點(diǎn)儀



另外，這種原理現(xiàn)在除了能夠測(cè)量微量H2O之外，現(xiàn)在還能測(cè)量微量O2,CH4,SiH4,HF,HCl和很多其他的微量氣體雜質(zhì)。


我希望更多的人能夠了解它的原理，不光是因?yàn)閭€(gè)人的原因，還有就是我國(guó)現(xiàn)在的氣體行業(yè)在高純氣體的水分測(cè)量這個(gè)領(lǐng)域是個(gè)空白，很多工程師還不知道如何去選定符合自己的儀器，往往還走過(guò)一段彎路，每次遇到這種客戶的時(shí)候我們彼此總是有些遺憾，遺憾沒(méi)有早點(diǎn)認(rèn)識(shí)。另外就是每每聽到我們客戶對(duì)這種產(chǎn)品的肯定的時(shí)候會(huì)讓我很開心，并且越來(lái)越自信。

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